X射線顯微鏡（微米CT）
型號：Xradia 610 Versa
投用時間：2023年1月

主要功能：

X射線顯微鏡主要在微納尺度下以無損檢測的方式表征材料內部三維形貌特征，可以提供例如孔隙率，體積比，取向分析等量化分析手段，致力于新材料的研發，可用于微型電子器件、傳感器、陶瓷材料、高分子聚合物、復合材料、動力電池檢測、增材制造等。

X射線顯微鏡配置原位力學實驗平臺，支持拉力/壓力/溫度環境下微米級分辨率四維成像。

主要指標：

● X射線源工作電壓，30~160 kV；

● X射線源最大工作功率：25W ；

● 最大空間分辨率：500 nm；

● 可實現的體素：40 nm；

● 具備CCD探測器，像素數量：2048 × 2048, 像素尺寸為15 μm；

原位測試模塊：

● 測試壓力和拉伸力：0~5 kN；

● 最大軸向位移：10mm；

● 軸向位移速度：0. 1mm/min ～ 1mm/min；

● 測試溫度范圍：-20 ºC ~ +160ºC

樣品要求：

● 塊體材料：Φ300 mm × 450 mm （可測最大樣品尺寸），具體視密度和分辨率等要求確定。